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東莞市夏陽新材料有限公司

2024年10月21日 星期一 10時41分34秒

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描述
半導體設備
陶瓷機械手臂
陶瓷機械手臂又稱、陶瓷機械手指、晶圓托盤、晶圓機械手臂等,主要在半導體設備中起到輸送搬運的作用，它相當于半導體設備這個機器人的手，負責搬運晶圓硅晶片到指定位置。
      由于晶圓硅晶片極其容易受到其他物質的污染，所以一般在真空環境下進行。在此環境下，大部分材料的機械手臂一般難以完成工作，制作機械手臂的材料需要耐高溫、耐磨、并且硬度也需要很高。而先進陶瓷材料恰好可以滿足這些條件，一般的陶瓷機械手臂主要有三種，一種是氧化鋁陶瓷機械手臂，另兩種是黑色陶瓷和復合陶瓷機械手臂。這幾種陶瓷材料都具備高致密度、高硬度、高耐磨性的物理性質，以及良好的耐熱性能、優良的機械強度、高溫環境仍具有良好的絕緣性、良好的抗腐蝕性等物理性能，是用于制作半導體設備機械手臂的絕佳材料。 
目前我公司生產的陶瓷機械手臂適用于各種高性能要求的半導體設備，其制作的陶瓷產品得到了廣大客戶的肯定。
半導體機械手臂
半導體陶瓷機械手臂
晶圓吸盤
夏陽材料
氧化鋁陶瓷
黑色陶瓷
復合陶瓷

  • 密      度：3.9g/cm

  • HRA硬度：91
  • 抗彎強度：370 Mpa
  • 熱震穩定：220△T.℃
  • 介電強度：22KV/MM  

  • 密      度：3.15g/cm

  • HRA硬度：93

  • 抗彎強度：400 Mpa

  • 熱震穩定：400△T.℃

  • 介電強度：0KV/MM 

  • 密      度：3.2g/cm

  • HRA硬度：92

  • 抗彎強度：850 Mpa

  • 熱震穩定：800△T.℃

  • 介電強度：12KV/MM

材料綜合性能

l 1:高硬度

l 2:散熱快

l 3:耐磨損

l 4:絕緣/無干擾

l 5:耐酸堿、抗腐蝕能力強，能適應極度惡劣




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